株式会社サンズエンジニアリング　【CVDコーティング装置】



SONS ENGINEERING CO., LTD.

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【製品詳細】

●CVDコーティング装置

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●動的粘弾性測定装置 >>

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●研究・実験装置 >>

●理化学機器 >>

●精密微量塗布装置 >>

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●PVD/CVDコーティング >>

【履　歴】

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ＣＶＤコーテング装置

＜＜ＣＶＤコーティングの特徴＞＞
１．多層コートが可能
　　　TiC、TiN、TiCNなどの超硬質
　　セラミックス化合物を、単層又は
　　複層にコーティング出来ます。

２．高密度
　　　900℃～1,100℃での処理となる為、
　　セラミックス化合物と母材間に厚い
　　拡散層が形成され、母材と膜との
　　密着度は強固です。

３．良好な付き回り性
　　　気相での化学反応を用いたプロセスの為、
　　複雑な形状や深穴・細穴内部へも均一に
　　コーティング出来ます。

＜＜装置の特徴＞＞
１．全自動プロセス
　　設定はタッチパネルによる対話式。

２．万全のインターロック
　　万が一の時にも装置は安全方向に停止します。

３．省エネルギー
　　　加熱・保温・真空装置等の改良を重ねて
　　参りました。

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